低溫回火
工件在150~250℃進行的回火。
目的是保持淬火工件高的硬度和耐磨性，降低淬火殘留應力和脆性
回火后得到回火馬氏體，指淬火馬氏體低溫回火時得到的組織。力學性能：58～64HRC，高的硬度和耐磨性。
應用范圍：主要應用于各類高碳鋼的工具、刃具、量具、模具、滾動軸承、滲碳及表面淬火的零件等。
中溫回火
工件在350～500℃之間進行的回火。
目的是得到較高的彈性和屈服點，適當的韌性。回火后得到回火屈氏體，指馬氏體回火時形成的鐵素體基體內分布著極其細小球狀碳化物（或滲碳體）的復相組織。
力學性能：35～50HRC，較高的彈性極限、屈服點和一定的韌性。
應用范圍：主要用于彈簧、發條、鍛模、沖擊工具等。
高溫回火
工件在500~650℃以上進行的回火。
目的是得到強度、塑性和韌性都較好的綜合力學性能。
回火后得到回火索氏體，指馬氏體回火時形成的鐵素體基體內分布著細小球狀碳化物（包括滲碳體）的復相組織。
力學性能：25～35HRC，較好的綜合力學性能。
應用范圍：廣泛用于各種較重要的受力結構件，如連桿、螺栓、齒輪及軸類零件等。
工件淬火并高溫回火的復合熱處理工藝稱為調質。調質不僅作熱處理，也可作一些精密零件或感應淬火件預先熱處理。
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